LCP-25 אליפסומטר ניסיוני
מבוא
הקוטב האליפטי הידני משתמש בשיטת הכחדה כדי למדוד את עובי ואינדקס השבירה של הסרט, ומווסת ידנית את סטיית זווית הסטייה של תהליך הבדיקה. אליפסומטריה נמצאת בשימוש נרחב במדידת סרט דק דיאלקטרי על מצע מוצק. בשיטת מדידת עובי הסרט ניתן למדוד אותו בצורה הכי דקה ודיוק.
מפרטים
תיאור | מפרטים |
טווח מדידת עובי | 1 ננומטר ~ 300 ננומטר |
טווח של זווית תקרית | 30º ~ 90º, שגיאה ≤ 0.1º |
זווית צומת מקטב ומנתח | 0º ~ 180º |
סולם זוויתי דיסק | 2 מעלות לכל קנה מידה |
דקה קריאה של ורנייה | 0.05º |
גובה מרכז אופטי | 152 מ"מ |
קוטר שלב העבודה | Φ 50 מ"מ |
מימדים כוללים | 730x230x290 מ"מ |
מִשׁקָל | כ 20 ק"ג |
רשימת חלקים
תיאור | כמות |
יחידת אליפסומטר | 1 |
הוא-ליי לייזר | 1 |
מגבר פוטואלקטרי | 1 |
תא צילום | 1 |
סרט סיליקה על מצע סיליקון | 1 |
תקליטור תוכנת ניתוח | 1 |
מדריך הוראות | 1 |
כתוב כאן את המסר שלך ושלח אלינו