LCP-25 אליפסומטר ניסיוני
מפרטים
תיאור | מפרטים |
טווח מדידת עובי | 1 ננומטר ~ 300 ננומטר |
טווח זווית האירוע | 30º ~ 90º , שגיאה ≤ 0.1º |
זווית צומת מקטב וניתוח | 0º ~ 180º |
קנה מידה זוויתי של דיסק | 2 מעלות לסולם |
מינימוםקריאה של ורנייה | 0.05º |
גובה מרכז אופטי | 152 מ"מ |
קוטר שלב העבודה | Φ 50 מ"מ |
מימדים כוללים | 730x230x290 מ"מ |
מִשׁקָל | בערך 20 ק"ג |
רשימת חלקים
תיאור | כמות |
יחידת אליפסומטר | 1 |
He-Ne Laser | 1 |
מגבר פוטואלקטרי | 1 |
תא צילום | 1 |
סרט סיליקה על מצע סיליקון | 1 |
תקליטור תוכנת ניתוח | 1 |
מדריך הוראות | 1 |
כתבו כאן את הודעתכם ושלחו אותה אלינו