אליפסומטר ניסיוני LCP-25
מפרט טכני
| תֵאוּר | מפרט טכני |
| טווח מדידת עובי | 1 ננומטר ~ 300 ננומטר |
| טווח זווית הפגיעה | 30º ~ 90º, שגיאה ≤ 0.1º |
| זווית חיתוך של מקטב ומנתח | 0º ~ 180º |
| קנה מידה זוויתי של דיסק | 2º לכל קנה מידה |
| קריאת ורניר מינימלית | 0.05º |
| גובה מרכז אופטי | 152 מ"מ |
| קוטר שלב העבודה | Φ 50 מ"מ |
| מידות כלליות | 730x230x290 מ"מ |
| מִשׁקָל | כ-20 ק"ג |
רשימת חלקים
| תֵאוּר | כמות |
| יחידת אליפסומטר | 1 |
| לייזר He-Ne | 1 |
| מגבר פוטואלקטרי | 1 |
| תא צילום | 1 |
| סרט סיליקה על מצע סיליקון | 1 |
| תקליטור תוכנת ניתוח | 1 |
| מדריך הוראות | 1 |
כתבו את הודעתכם כאן ושלחו אותה אלינו
